| 純氮、高純氮、超純氮（GB/T8979-2008) | |||
| 項目名稱 | 指標 | ||
| 超純氮 | 高純氮 | 純氮 | |
| 氮氣（N2)的體積分數/10-2 ≥ | 99.9999 | 99.999 | 99.99 |
| 氧氣（O2)的體積分數/10-6 ≤ | 0.1 | 3 | 50 |
| 氬（Ar）的體積分數/10-6 ≤ | 2 | — | — |
| 氫氣（H2)的體積分數/10-6 ≤ | 0.1 | 1 | 15 |
| 一氧化碳（CO)的體積分數/10-6 ≤ | 0.1 | 1 | 5 |
| 二氧化碳（CO2)的體積分數/10-6 ≤ | 0.1 | 1 | 10 |
| 甲烷（CH4)的體積分數/10-6 ≤ | 0.1 | 1 | 5 |
| 水分/10-6 ≤ | 0.5 | 3 | 15 |
| 注：表中純度和含量均以體積分數表示（V/V)。 | |||
